微纳米制造技术及应用范文
微纳米制造技术及应用篇1
关键词:微纳米制造技术;热压成型;PID控制枝术
引言
微纳米制造技术带来的材料革命为机械工程、仪器科学、光学工程、生物医学及微电子工程所广泛应用,为产品品质提升、节能降耗提供新途径,如超疏水表面微纳米制造技术在远洋航行、石油管道运输等领域有着惊人的应用前景,但由于微纳米产品单件生产成本高、周期长,制约了微纳米制造技术的大范围应用,高效、低成本的批量生产技术成为微纳米制造产业化的关键。目前,高效批量的精密微纳米结构制造方法主要有微热压成型法和微注塑成型法,其中微纳米热压技术相比较具有更高的精度和更高的效率,并且对设备的要求简单、操作方便,生产成本更加低廉,因此而得到广泛关注和应用。本文就基于聚合物微纳米制造提出热压成型机的研制思路,并应用PID控制技术,解决热压成型过程中的温度、时间、压力及脱模等问题。
1热压成型机工作原理
1.1微纳米制造热压成型法简介
微纳米制造热压成型法(hotembossing)的主要工艺过程分为热压准备、热压过程和脱模三个阶段。首先将聚合物基板放置在带有微结构表面的模具中,并予以加热使聚合物软化;达到一定温度后,模具对聚合物进行施压,在施压过程中要保持一定的压力,并维持一定的时间;最后对模具和聚合物一起冷却进行脱模,从而在聚合物基片上制造出所需的微结构(如图1所示)。
1.2基于聚合物的热压成型机设计思路
依据微纳米制造热压成型原理,本文设计开发了一款热压成形机,主要由压力机、模具体和真空脱模机构等三个部分组成(如图2所示),其总体工作原理设计如下:首先将待加工聚合物材料放置在下模板上面,当上下模板加热到设定温度时,控制系统发出脉冲信号,促使伺服电机正转,伺服电机通过同步齿形带驱动两根滚珠丝杆同时旋转,在滚珠丝杆副的作用下,主横梁带动上模板向下施压。热压模具的凸起部分与聚合物基片接触,产生较大的压应力,此时发生塑性变形。当模具的凸起部分逐步压入基片至表面全部接触,模具的凸起部由于上模板表面具用特殊的微结构,而下模板是光滑的平板,因此在分模时,聚合物材料会吸附在上模表面。为了保护好在聚合物材料表面上形成的微结构,采用真空吸附的方式是比较理想的脱模方式。当完成分模动作后,控制系统通过气缸将真空脱模机构送入到上下模板之间并开启真空泵,此时上模板下移至与真空吸盘接触位置,在真空的作用下,将聚合物材料吸附在真空盘上,而后上模板向上移动,完成脱模动作。
2热压成型机检测与控制系统设计
2.1控制系统整体设计及组成
热压成型过程中,主要控制的工艺参数包括温度、压力、位移和时间。压力的大小、温度的高低、位移的定位精度和时间的长短对批量制作聚合物表面微结构的质量和稳定具有十分重要的意义,因此实时恒温控制技术、恒力控制技术、精密的位移控制技术是本文研究的关键性技术。本机采用PID控制技术对整个加工过程进行精准、快速、有效的控制,控制系统由PLC、检测系统和伺服驱动等构成(如图3所示)。PLC是控制系统的核心,本机采用日本三菱公司的可编程控制器FX2N-32MT。检测系统包括了压力检测、温度检测、位移检测,温度检测采用插入式一体化温度变送器,压力检测采用广测高精度抗偏载轮辐式称重传感器YZC-219(1T),位移检测采用NOC-S5000-2MD编码器。伺服驱动由定位模块FX2N-1PG、伺服装置驱动器MR-J2S及交流伺服电机等组成,定位模块FX2N-1PG是三菱PLC功能模块之一,可单轴控制,针对定位控制的特点,该模块具有完善的控制参数设定,如定位目标跟踪、运行速度、爬行速度、加减速时间等。由于FX2N系列PLC不具备内置位置定位指令,我们可通过FROM/TO指令与扩展单元FX2N-1PG脉冲输出模块进行数据交换,向伺服放大器发送指定数量的脉冲串,从而完成对伺服电动机的精确定位控制,其最高波特率为100kHz。
2.2恒温、恒力和位置控制
图4所示为FX2N系列PLC的交流伺服控制系统接线图。温度传感器将采集到的模拟量温度信号通过FX2N-4AD-PT模块转换成数字信号,再输入到PLC中,PLC将其与设定值进行比对并进行运算,输出对应的理想数值,然后通过FX2N-2DA模块输出0~10V的模拟量电压,从而有效控制加热模块的输出电压值,达到实时恒温控制效果。恒力控制、精密的位移控制是本文研究的重点技术,恒力控制与精密的位移控制需要相互配合,实时计算才能达到理想的效果。压力传感器通过FX2N-2AD模块向FX2N-32MT输入压力信号,系统根据当前输的压力信号和设定值进行比对,若当前压力小于设定值,FX2N-32MT和FX2N-1PG通过的数据线进行数据通信,输给FX2N-1PG脉冲和旋转方向,从而FX2N-1PG定位模块向MR-J2S发出正向或反向位置脉冲信号,再由MR-J2S驱动交流伺服电机,实现通道转角的精确定位。伺服电机末端的光电编码器将电机轴的角位移和电机转速以脉冲的形式反馈至MR-J2S的CN2口,在MR-J2S中完成位置控制和速度控制,整个位置控制系统实际上是位置闭环的伺服系统。
2.3控制系统端口定义
本机FX2N系列PLC的交流伺服控制系统各端口定义如下:X0~X2为来自滚珠丝杆上的编码器信号;X6、X7为正负限位,接接近开关SQ0.0和SQ1.0的输入;X8为伺服准备好输入信号,来自MR-J2S伺服驱动RDY输出;X9为伺服报警输入,来自MR-J2S伺服报警ALM输出;X10为紧停开关输入;X11为伺服结束信号输入,来自MR-J2S伺服驱动INP输出;Y0为紧停输出;Y1伺服ON;Y2为复位输出;Y3、Y4为伺服正负限位输出;Y5为伺服停止输出。回参考点接近开关SQ2.0与定位模块FX2N-1PG的DOG相接,FX2N1PG的正向FP和反向RP脉冲输出口分别与MRJ2S的PP和NP口相接,其余连线按标准连接。
3结束语
根据热压成型机的设计,笔者试制了相应设备,经过试验证明模拟量实时温控系统、恒压控制和可编程控制器的伺服精确控制大大提高了热压成型机的精度,增强了系统的抗干扰能力。通过测试,达到了很好的效果。该项目的成果研制,使微纳米制造的批量化生产成为现实,并且生产成本相当低廉,具体一定的经济效益。但目前所设计的热压成型机仅针对平面的板材的加工,不能适应各个领域的应用需求,在此基础上,我们将开发第二代热压成型机,它将能完成各类异形结构的微纳米制造,其控制精度也将更高。
参考文献:
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微纳米制造技术及应用篇2
高性能、低功耗,精彩尽在微小间
一纳米等于十亿分之一米,45纳米只有DNA和蛋白质一半的大小。在这方寸之间玩出的花样,对芯片制造技术甚至计算机应用来说,究竟意味着什么呢?英特尔资深技术专家赵军在接受本刊专访时,向记者详细地介绍了英特尔公司的45纳米制程技术。
“所谓的45纳米制程(或称为制造工艺)中的45纳米是指集成电路中晶体管之间连线的宽度。半导体的工艺进步主要就体现在晶体管尺度的不断缩小和线宽的不断缩短上。线宽越小,芯片的集成度就越高,同样面积的芯片内可以容纳下的晶体管数目就越多;与之对应,晶体管自身的尺寸也相应地缩小。”那么,这种改变究竟可以带来哪些实质性的好处呢?
赵军解释道:“45纳米制程技术最直接的好处就是可以让芯片的集成度大大增加。举个例子,我们知道对CPU而言,为了获得更高的性能,除了不断开发创新的微体系架构外,便要增加更多运算单元或运算内核以及增大高速缓存单元。而目前CPU的内核运行在数GHz的高频率上,为了匹配这样高速的内核,只能使用SRAM(静态随机存储器)类型的存储逻辑作为一级和二级高速缓存。和用作系统内存的DRAM(动态随机存储器)相比,SRAM的每一个比特位(bit)需要占用6个晶体管,那么1MByte(1Byte=8bit)容量的二级缓存就需要占用超过5000万个晶体管,这是一个相当惊人的数字。不仅如此,随着计算机需要的缓存容量日益增大,晶体管的数目还将成倍增长,如果业界不引入新的技术,CPU芯片的尺寸将变得越来越大,无论对制造成本、散热还是提高运行速度都相当不利。”
“45纳米制程技术使储存容量增大了。如今,45纳米工艺给我们带来的是0.346平方微米的SRAM记忆胞面积(65纳米时为0.62平方微米),超过10亿个晶体管的数量和153Mbit的SRAM容量。”赵军欣喜地说道:“除此之外,对半导体芯片来说,新工艺往往可以带来运算性能和电气性能双方面的改进。一个非常简单的事实就是,同样的半导体芯片,若用先进工艺制造往往可以带来功耗的明显降低,而运行性能可以继续向上提升一个等级,可以把更多更复杂的功能部件集成到更小的芯片面积内。另一方面,低功耗可以让PC更节能,对散热设计不会带来什么压力,安静、低噪音运行可以得到充分保障。”
45纳米制程,针尖上的舞蹈
芯片巨头英特尔为这个即将于2007年下半年投入生产的处理器新生儿取了个代号――Penryn,它将秉承45纳米制程技术的优良血脉,将处理器家族扩展到服务器、台式机、优化版的笔记本以及备受关注的第二代四核处理器领域,让0与1在“针尖”上跳出更炫目的舞蹈。
Penryn处理器比起Core架构有更多的改进,预期2007年年中,高阶处理器频率将大幅提升至3.0GHz以上。此外,整合了新的SSE4指令的Penryn将在游戏、视频编码、3D图片、Web服务等性能上较目前处理器有一定提高。
赵军说:“SSE4指令集会在将来的Penryn处理器中推出,它将更注重针对视频方面的优化,为Clear Video高清视频技术(支持高级解码、拥有预处理和增强型3D处理能力)及UDI接口规范提供强有力的支持。SSE4指令集能够有效带来系统性能上的提升,这将使其更利于多媒体应用。”在其他方面,据赵军介绍,由于基于45纳米制程技术的Penryn处理器具有超乎以往的计算性能,也使得像笔记本电脑这样的移动设备的性能大大增强,从另一角度说,相当于以前需要很大体积的电脑才能完成的计算,现在通过轻薄的笔记本就能实现了,这也使诸如在本地PC上进行海量信息的快速搜索等大计算量任务变得轻而易举。
马不停蹄的摩尔定律
微纳米制造技术及应用篇3
【关键词】纳米材料(双语)教学 知识体系 知识点
【基金项目】西安建筑科技大学教改项目资助(编号:JG080225)。
【中图分类号】G64 【文献标识码】A 【文章编号】2095-3089(2014)10-0220-02
一、引言
为应对当前世界经济一体化以及科技革命带来的严峻挑战,加强主宰世界经济及科技走向的新知识、新科技及新成果的学习势在必行,而开展承载着“爆炸信息量”的纳米材料的双语课程学习就显得尤为重要。纳米材料是填补了长期以来人们对于宏观和微观领域研究的缺失领域―介观领域的空白,由于纳米材料的结构特性,具有常规材料不具备的纳米效应,因而,纳米材料的研究已成为当前先进材料研究最活跃的领域之一[1];同时,纳制造技术也将对当前的微制造技术带来一次革命性的变革,这是因为纳制造技术采用“自下而上”的制造原理,能够制造出体积更小、便于携带、功能更强大的电子元器件及仪器设备,其研究成果日新月异,如:纳米机器人、纳米小轿车、纳米间谍机、纳米芯片、纳米电池、纳米医药,这些纳米产品将对我们的生活、工业、农业、军事、医疗、制造业等各行各业带来前所未有的巨变与冲击。
为了加强本科生对纳米材料最新成果的了解,拓宽知识视野,启迪学生的纳米概念和纳米理论的新思想,培养学生的创新意识,构建一种纳米材料双语教学课程知识体系,对于科学系统的传授纳米材料基本概念和基础知识是十分必要的。作者在长期的纳米材料双语教学过程中,力图将纳米材料基本概念系统的介绍给学生;采用现代化的教学方法,并将板书、图表、视频等教学手段相结合,不断的充实授课内容,期望形成一种较完整的双语课程知识体系。
二、纳米材料双语课程教学知识体系的构建
构建科学合理的纳米材料双语课程教学知识体系是以知识、能力和素质培养为宗旨,以能力培养为核心,以双语教学为媒介,以传授新概念、新理论、新工艺、新成果为纽带,以提升创新能力为培养目的,着力开启纳米材料课程教学人才培养的新模式和新途径。纳米材料双语课程在我校属于专业选修课,只有32学时,针对课程内容多,学时少的现状,课程教学中知识体系的选取原则是以基本的纳米概念、基础理论、纳米效应、纳米制造方法、检测手段、标志性的成果(如碳纳米材料中的富勒烯)以及纳米材料在新能源领域中的应用为主线。
纳米材料双语课程知识体系可分为八个知识单元:第一个知识单元Introduction to nanoscale materials(纳米材料简介);第二个知识单元Nanometer effects (纳米效应);第三个知识单元Properties of nanoscale materials (纳米材料的性质);第四个知识单元Synthesis of nanoscale materials (纳米材料的合成);第五个知识单元Scanning tunneling microscope and atomic force microscope (扫描隧道显微镜和原子力显微镜);第六个知识单元Synthesis of carbon nanomaterials (碳纳米材料合成);第七个知识单元Lithography for nanofabrication(光刻纳米制造技术);第八个知识单元Nanotechnology for production of hydrogen by solar energy (纳米技术用于太阳能产氢)。
作为纳米科技基础的纳米材料,近年来已成为最热门的研究课题之一,纳米科技的浓厚兴趣集中在能对经济、加工及科学产生巨大影响的若干领域。第一个知识单元中的知识点可划分为纳米材料定义及其分类。按照空间维度纳米材料可分为零维、一维、二维及块体材料,依据材料的量子性质可分为量子点、量子线、量子阱,同样,按照材料的性质、组成以及形貌对纳米材料进行分类。更多的知识点涉及到纳米科技的定义。工业革命推动了纳米科技的发展,当作为芯片的氧化硅的绝缘层厚度被减薄至大约3个硅原子的厚度时,漏电就成为一个大问题。加之,当硅材料被限制在很小的尺寸时,将会失去它固有的能带结构,故此,目前微制造技术的局限性的知识点就显得十分重要。如何才能克服当前固态电子学技术中的局限性?分子电子学的诞生是一个崭新的和诱人的研究领域,该研究领域正在唤起科学家的想象力;未来技术的挑战在于原子操纵的分子和超分子系统设计;纳米材料在水处理、纳催化、纳米传感器、能源以及医疗方面等领域的应用。
第二个知识单元是纳米材料的纳米效应,当一种材料的尺寸缩减到纳米量级时,即使其组成与可以看得见和触摸到的块体材料完全相同,但材料的性能却有着本质的区别,纳米材料表现出与常规块体材料迥然不同的性质称为纳米效应。当纳米粒子的尺寸与光波长,德布罗意波长,电子的自由程长度,或者超导态的相干波长相当或更小时,将会产生小尺寸效应。当粒子尺寸减小到或接近于激子波尔半径时,将会产生量子尺寸效应,在量子尺寸效应中主要阐明能隙与粒子尺寸的关系;当纳米粒子的表面原子数与总原子数之比随纳米颗粒的粒径减小而显著增大时,将会引起表面效应;宏观量子隧道效应的知识点包括了弹道传输、隧穿、共振隧穿、隧穿效应等内容[2]。
第三个知识单元涉及纳米材料的性能;力学性能表现为纳米材料的硬度随粒径尺寸的减小而增大表现出正的HallPetch斜率关系(K>0),纳米材料的硬度随粒径尺寸的减小而减小呈现出负的HallPetch斜率关系(K
在过去数十年间,科学家已经揭示了至少有一维处于纳米量级的许多新材料的合成与表征方法。如:纳米粒子,纳米膜和纳米管。然而,设计和制备具有可控性能的纳米材料仍然是纳米科技的一项重大的和长期的挑战。纳米材料的制备有多种途径。了解纳米材料制备过程中的一些工艺特性是非常重要的,这是因为制备的工艺路线通常决定了所制备材料的性能。第四个知识单元纳米材料的制备首先介绍采用传统的“自上而下”的方法以及先进的“自下而上”的两种方法制备纳米材料。利用固相方法制备纳米材料包括了机械研磨和固相反应。物理气相沉积(PVD)法分为热蒸发PVD法、等离子体辅助PVD法以及激光消融法。化学气相沉积法 (CVD),液相合成方法包括了沉淀法、溶剂热法、冷冻-干燥法(低温化学合成法)、溶胶-凝胶法、微乳液法、微波辅助合成法、超声波辅助合成法。采用冷压和热压法固化纳米粉体合成块体纳米材料。通过模板辅助自组装纳米结构材料的合成;从节能减排、原子经济、溶剂安全性以及提高能量效率的角度设计纳米材料的绿色合成路线。
第五个知识单元主要介绍扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM) 的基本原理,操作模式及其应用。STM 和AFM表明是获取材料表面原子形貌信息的新仪器。此外,通过纳米操纵,人们可以采用扫描隧道显微镜和原子力显微镜制造纳米尺寸的材料和器件。
第六个知识单元涉及碳纳米材料的合成。碳族的知识点涉及石墨、金刚石、碳的同素异形体。富勒烯的知识点包括C60的合成、富勒烯的纯化、C60的结构、13C核磁共振谱、富勒烯包合物、亲核加成反应、C60的聚合反应、纳米小轿车的制造。碳纳米管的知识点包括了碳纳米管的合成、碳纳米管的生长机理以及碳纳米管的几何构型。
第七个知识单元是纳米制造中的光刻技术,其知识点包括紫外线光刻技术;扫描束刻蚀纳米制造的知识点有电子束刻蚀以及聚焦离子束刻蚀技术。纳米压印刻蚀技术包括了纳米压印刻蚀技术、步进式闪烁压印刻蚀技术及微接触印制技术。扫描探针刻蚀技术。
第八个知识单元是纳米技术用于太阳能光催化分解水制氢的新能源应用。知识点涉及太阳能转换、光催化分解水制氢、负载型TiO2、可见光驱动的光催化剂的发展、铬离子掺杂的钛酸盐纳米管以及半导体复合材料[3]。
在上述八个知识单元的教学过程中,结合不同章节的具体情况,教学方法和教学手段要灵活多样,将板书、多媒体、动画技术及网络资源相结合,做到图文并茂,寓教于乐,激发学生的学习热情。另外,采用启发式教学,课堂中加强与学生的活动,提高学生的思考问题及解决问题的创新能力,实现学生的知识、能力和素质的全面培养。
三、结语
构建纳米材料双语课程知识体系是一项长期而细致的教改工作,虽然我们对少学时的纳米材料双语课程教学勾勒出了知识体系,但不同的专业,教学目的有所不同,其侧重点有所不同,则知识体系中的知识单元及知识点迥然不同。但通过我们坚持不懈地努力,纳米材料双语课程知识体系会变得更加科学合理,更加新颖前瞻,更能激发学生的创新热情。
参考文献:
[1]E. Serrano, G. Rus, J. Garcia-Martinez, Renew. Sust. Energy Rev. 13 (2009) 2373-2384.
[2]Y. Shirai, Y. Zhao, L. Cheng, J.M. Tour, Org. Lett. 6 (2004) 2129-2132.
微纳米制造技术及应用篇4
关键词: 纳米技术意义展望
一、纳米技术的内涵
纳米技术是一门在0.1―100nm空间尺度内操纵原子和分子,对材料进行加工、制造具有特定性能的产品,或对物质进行研究、掌握其原子和分子的规律和特征的高新技术学科,被认为是“今后十年最可能使人类发生巨大变化的十项技术”之一。
纳米技术包含下列四个主要方面:(1)纳米材料。当物质到纳米尺度以后,即0.1―100nm这个范围空间,物质的性能就会发生突变,出现特殊性能。这种既具不同于原来组成的原子、分子,又不同于宏观的物质的特殊性能构成的材料,即为纳米材料。(2)纳米动力学。主要是微机械和微电机,或总称为微型电动机械系统,用于有传动机械的微型传感器和执行器、光纤通讯系统,特种电子设备、医疗和诊断仪器等。用的是一种类似于集成电器设计和制造的新工艺,特点是部件很小,刻蚀的深度往往要求数十至数百μm,而宽度误差很小。(3)纳米生物学和纳米药物学。如在云母表面用纳米微粒度的胶体金固定dna的粒子,dna的精细结构,等等。纳米生物学发展到一定技术时,可以用纳米材料制成具有识别能力的纳米生物细胞,并可以吸收癌细胞的生物医药,注入人体内,用于定向杀癌细胞。(4)纳米电子学。包括基于量子效应的纳米电子器件,纳米结构的光/电性质,纳米电子材料的表征,以及原子操纵和原子组装,等等。当前电子技术的趋势要求器件和系统更小、更快、更冷。更快,是指响应速度要快。更冷,是指单个器件的功耗要小。但是更小并非没有限度,纳米技术是建设者的最后疆界,它的影响将是巨大的。
二、研发纳米技术的重要意义
在充满生机的21世纪,信息、生物技术、能源、环境、先进制造技术和国防的高速发展必然对材料提出新的需求,元件的小型化、智能化、高集成、高密度存储和超快传输等对材料的尺寸要求越来越小;航空航天、新型军事装备及先进制造技术等对材料性能要求越来越高。新材料的创新,以及在此基础上诱发的新技术、新产品的创新是未来10年对社会发展、经济振兴、国力增强最有影响力的战略研究领域,纳米材料将是起重要作用的关键材料之一。纳米材料和纳米结构是当今新材料研究领域中最富有活力、对未来经济和社会发展有着十分重要影响的研究对象,也是纳米科技中最为活跃、最接近应用的重要组成部分。近年来,纳米材料和纳米结构取得了引人注目的成就。例如,存储密度达到每平方英寸400G的磁性纳米棒阵列的量子磁盘,成本低廉、发光频段可调的高效纳米阵列激光器,价格低廉。高能量转化的纳米结构太阳能电池和热电转化元件,用作轨道炮道轨的耐烧蚀高强高韧纳米复合材料等的问世,充分显示了它在国民经济新型支柱产业和高技术领域应用的巨大潜力。正像美国科学家估计的“这种人们肉眼看不见的极微小的物质很可能给予各个领域带来一场革命”。纳米材料和纳米结构的应用将对调整国民经济支柱产业的布局、设计新产品、形成新的产业及改造传统产业注入高科技含量提供新的机遇。
研究纳米材料和纳米结构的重要科学意义在于它开辟了人们认识自然的新层次,是知识创新的源泉。由于纳米结构单元的尺度(0.1―100nrn)与物质中的许多特征长度,如电子的德布洛意波长、超导相干长度、隧穿势垒厚度、铁磁性临界尺寸相当,因而纳米材料和纳米结构的物理、化学特性既不同于微观的原子、分子,又不同于宏观物体,从而把人们探索自然、创造知识的能力延伸到介于宏观和微观物体之间的中间领域。在纳米领域发现新现象,认识新规律,提出新概念,建立新理论,为构筑纳米材料科学体系新框架奠定基础,也将极大丰富纳米物理和纳米化学等新领域的研究内涵。世纪之交高韧性纳米陶瓷、超强纳米金属等仍然是纳米材料领域重要的研究课题;纳米结构设计,异质、异相和不同性质的纳米基元(零维纳米微粒、一维纳米管、纳米棒和纳米丝)的组合。纳米尺度基元的表面修饰改性等形成了当今纳米材料研究新热点,人们可以有更多的自由度按自己的的意愿合成具有特殊性能的新材料。利用新物性、新原理、新方法设计纳米结构原理性器件及纳米复合传统材料改性正孕育着新的突破。
纳米技术作为一门新兴的学科,被誉为21世纪最具有发展前景的技术,是对未来经济和社会发展产生重大影响的一种关键性前沿技术。纳米技术在社会上的应用前景非常广阔,纳米技术不仅会推动新产品的开发,而且将为改善人们的生活环境,提高生活质量作出不可估量的贡献。纳米技术将成为21世纪新型技术的发展新方向,相信在不久的将来,我们将跨入一个全新的时代。
三、对纳米技术未来发展的展望
纳米技术将从根本上改变未来制造的两种基本类型方式――连续制造和离散制造。连续制造是指批量物质或材料的生产,例如化学品或金属卷材。离散制造是指单个配件的生产,例如螺栓或元件(集成电路)或组装系统(计算机)。对于纳米尺度制造来说,原子、分子与团簇都是生产“原料”。因此,纳米尺度制造的生产工艺和设备与目前应用于大于100nm的微制造工艺与设备将会有很大不同。纳米制造未来的研究方向包括以下几个。
1.材料开发
了解和模拟纳米尺度物质合成、操控及监测的现象和工艺,这是开发新型纳米制造技术所需的;开发表征、监测、筛选、分离和控制纳米结构大小/形状/多分散性和表面或体积特征的方法。
2.制造纳米系统的材料操控与控制
分子、大分子、纳米颗粒及纳米尺度组件的定位、定向、分散、集群和导向自我组装,非共价键和信息内容是不可或缺的;纳米材料的包装和输运,如通过超声和纳米流化床;纳米自组装结构融入功能器件和系统。
3.与微观和宏观系统相结合
把自下而上和自上而下的制备技术融入低本高效的优化生产制造中;制造技术的尺度放大、并行和集成能力,如平行探针或束阵列等方法。
4.制造工具
改造和控制表面组成/结构,以确保随后组装的稳定性和功能性;开发可支撑的、用户与环境友好、廉价而高产的制图技术;开发和运用纳米结构复制方法;纳米制造结构和性能的低本高效清除/修复/接缝技术,等等。
5.测量和标准工具
纳米颗粒与结构的化学和结构表征技术(除几何形状特征外);开发三维加工和非破坏性表面下探测技术;把在线传感与监测技术同制造方法融合在一起;远程制作和远程表征设备和仪器,等等。
参考文献:
[1]张立德.纳米材料[M].北京:化工出版社,2002.
微纳米制造技术及应用篇5
【关键词】纳米技术 纳米中药 制备技术
中图分类号:R283 文献标识码:B 文章编号:1005-0515(2012)1-235-01
纳米技术是指用单个原子、分子制造或将大分子物质加工成粒径在1~100nm 的物质的技术[1]。纳米技术的出现标志着人类改造自然的能力已延伸到原子、分子水平,使得化学和物理学之间已无明确界限。中药有着悠久历史,其独特的药效在世界医学界占有举足轻重的地位。近年来研究结果表明,中药产生的药理效应不能完全归功于该药特有的化学组成,还与药物的物理状态密切相关[2]。当药物颗粒粒径小到一定程度时,药效可能会产生突发性的改变。纳米技术与中药学的结合,是提高中药有效利用率、药效快速释放等的关键所在。
纳米中药的制备是研究纳米中药的最基础也是最重要的问题,将纳米技术引入中药的研究时,必须考虑中药组方的多样性、中药成分的复杂性,所以,针对不同的药物,在进行纳米化时必须采用不同的技术路线,此外还必须考虑中药的剂型。纳米中药与中药新制剂关系十分密切,如何在中医理论的指导下进行纳米中药新制剂的研究,将中药制成高效、速效、长效、剂量小、低毒、服用方便的现代制剂,也是进行中药纳米化时必须考虑的问题。目前,纳米中药主要有一下制备方法:
1 超微粉碎技术[3]
使用特制机械设备将原药材或提取物进行粉碎,使之达到纳米级。我国研制出了一种利用湍流原理进行粉碎的高湍流粉碎机,中药甘草的粉碎实验表明,产品粒径可达到1μm 以下,对矿物质的粉碎则达到100nm以下,而且粒径分布窄。该技术可能将为物理方法制备纳米药物粒子提供高效方便的捷径。
2 固体分散技术[3]
这是将药物以微粉、微晶或分子态均匀分散在无生理活性的载体中,药物在载体中的粒径小于100nm。该技术是通过物理分散而获得纳米药物粒子,若将药物包埋于不同性质的高分子聚合物中,可形成速释型或缓释型固体分散物。采用固体分散技术制备药物的固体分散体,常用熔融法、溶剂法、溶剂-熔融法、溶剂-喷雾(冷冻)干燥法、研磨法。不同药物采用何种固体分散技术,主要取决于药物性质和载体材料的结构性质、溶点和溶解性能等。固体分散技术在中药制剂青蒿素固体分散物、复方丹参滴丸、香连滴丸、苏冰滴丸等中已得到了应用。
3 化学气象沉积法
在气体状态下发生化学变化形成所需要的化合物,并在保护气体环境下快速冷凝形成纳米粒子。
4 超临界流体技术[4]
利用超临界快速膨胀法和气体反溶剂法可制备纳米粒。用超临界流体技术设备已得到了粒径为130nm的灰黄霉素纳米粒和125nm的四环素纳米粒。
5 微乳化技术[5]
将油、水、乳化剂和助乳化剂按一定比例在一定温度下通过适当的方法混合而得。药物以粒径在10-100nm内的乳滴分散在另一种液体中形成的胶体分散系统。
6 包合技术
包合技术也是一种纳米粒子的制备方法,它所采用的载体材料本身就是一种纳米尺度的分子材料,主要采用β-环糊精作为载体材料,经包合后可以增加难溶性药物的溶解度和溶出度,降低药物的刺激性,特别是中药易挥发性成分经包合后,可明显提高保留率,增加贮存过程中药物的稳定性。
7 高压乳匀技术[6]
随着乳化技术的发展,尤其是高压乳匀机应用于制药业获得成功后,人们进一步研制物理化学稳定性好、粒径更小、毒性小、具有靶向缓释作用、适合于多途径给药的纳米新剂型。它是将药物溶解在高于5-10℃的内脂中,在搅拌下加入含有表面活性剂的水相中制成初乳,再将初乳通过高压乳匀机,制成纳米乳剂。
8 超音射流技术[3]
通过在高压条件下流体的超音速微射流瞬时对撞,产生粒子间强烈的撞击作用,高度湍流作用和超声波空化作用,从而使物质瞬间达到纳米分散状态,在撞击过程中可同时完成辅料对纳米粒子的包覆而达到稳定分散的目的。
目前纳米中药的研究主要集中于利用纳米技术将少数成分比较明确的单体有效成分制成纳米制剂,或将原料药直接粉碎至纳米级,对大部分中药的纳米制剂研究还很少,主要是因为中药真正起药理作用的有效成分或有效部位研究本身就是一个难题;而且由于中药成分比较复杂,将其制备成纳米制剂需要克服的困难较多,因此,中药纳米制剂及技术是医药科研工作者的重要研究课题。
纳米技术在中药领域的应用前景取决于科学技术的发展,包括物理化学、生命科学、生物化学、材料学等学科的发展。尽管纳米技术应用于中药的研究和开发目前尚处于初始阶段,但它的新技术及新工艺,一旦用于中药的研究、开发和生产,不仅可为制药企业创造巨大的经济效益,造福于患者,而且更有利于中药的现代化、国际化,必将产生极其深远的影响。
参考文献
[1] 郝存江,赵晓峰.纳米中药研究进展.天津中医药.2006,23(6):515-517.
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[3] 阳秀萍,陈登志,胡凤国.浅谈中药纳米制剂的研究方向[J]. 中国现代中药,2006,8(2):29-30.
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[5] 蔡大伟,张新春.纳米中药制剂的研究与应用[J].中国药业,2006,15(14):64-65.
微纳米制造技术及应用篇6
Chemical Sensors and Biosensors
2012,4299p
Hardcover
ISBN9781848214033
拉劳兹编著
本书系统介绍了近年来传感器的技术突破,阐述了各种传感器的基本理论和相关技术。传感器的灵敏度高,能对气体、半导体材料、分子晶体、离子导体以及高分子材料进行检测。本书详细介绍了检测水中银盐、玻璃以及高分子材料的装置和方法,以及用生物识别技术检测重金属、有机磷、DNA、酶、真菌、微生物和酵母的装置和方法。本书还介绍了电、电化学、压电、机械、光学、生物传感器的设计、性能及应用,微反应器及纳米技术等;探索了神经网络及电子鼻在加工信息时的问题。本书突出介绍了各种微型传感器。随着微制造和纳米制造技术的发展,传感器迅速地向小型化、集成化和多功能化方向发展,在灵敏度、选择性和稳定性方面有很大提高。由于传感器使用越来越广泛,成本也变得很低廉,品种很多样。
本书共17章:1. 化学识别和生物学识别;2. 吸附现象;3. 微悬臂传感器;4. 压电传感器(QCM);5. 金属氧化物气体传感器;6. 分子材料的电导率气体传感器;7. 气体微传感器的响应性能和电性能;8. 气体微传感器技术;9. 多重传感器的测量和行为模式;10. 化学、生物化学、生物微传感器与微制造技术的发展;11. 痕量气体成份的检测与微预富集技术的发展;12. 微流学:纳米级体积的样品;13. 电化学生物传感器;14. 光纤生物传感器;15. 利用电化学微传感器进行活体分析;16. 微生物生物传感器在环境监测中的应用;17. 生物燃料电池。书的末尾有各章作者简介及主题索引。
本书的编著者拉劳兹是法国国立高等圣埃蒂安矿业(Saint Etienne)的教授。他的研究兴趣是物理化学中的固气相互作用。他还致力于一些气体传感器的理论模型和工业原型机研究。他一直是圣埃蒂安矿业教学研究部主任和CNRS研究部主任。
本书适合于研究化学传感器、生物传感器和生物芯片的硕士、博士研究生阅读。
刘克玲,退休研究员
(中国科学院过程工程研究所)
Keling Liu, Retired Research Professor
微纳米制造技术及应用篇7
9月22日,英特尔在美国旧金山Moscone会展中心举办了第12届英特尔信息技术峰会(IDF)。
和往年一样,英特尔在IDF上了一系列的新产品,更新了未来产品的路线图。但和往年不一样的是,今年全球性的金融危机,互联网应用的大普及,以及3G时代的到来,使产业与一年前有了明显的不同,而这些都是英特尔必须面对的变化。
图注:
插图图注:英特尔CEO欧德宁预测,PC市场正准备重新上扬。
英特尔技术与制造事业部总经理Bob Baker展示22纳米晶圆。
英特尔架构部总经理浦大卫做演示。
题图图注:英特尔CTO贾斯汀演示3D高清视频。
英特尔公司总裁兼首席执行官保罗•欧德宁(Paul Otellini)在今年的IDF上做了首场主题演讲。值得注意的是,欧德宁在主题演讲中有这样一句话: “英特尔将一如既往地遵循(Pursuit)摩尔定律,摩尔定律是我们一切努力的基础所在。”
众所周知,英特尔在数年前就定下了“滴答策略(Tick-Tock)”。一年“滴(Tick)”,更新处理器的架构; 下一年“答(Tock)”,推出新一代更小线宽的半导体制程。在当前经济、互联网普及和3G应用深化的背景下,英特尔能否坚守摩尔定律,能否兑现“滴答承诺”,成为今年IDF重要的关注点之一。
22纳米初次亮相
按照英特尔先前的“滴答策略”,单数年推出新一代制程,即“答”年。2009年正是单数年。于是,在今年的IDF上,继2007年投产45纳米、2009年投产32纳米以后,英特尔宣布了最新的22纳米制程,并承诺在2011年量产。而22纳米以后的目标,则是15纳米。英特尔表示,2015年后的目标是小于15纳米,也就是说,在2015年以前,英特尔将保持“滴答”依旧。
在架构或“滴”的方面,英特尔在45纳米后期(2008年)和32纳米早期(2009年)的架构为 Nehalem。在32纳米后期(2010年)与22纳米前期(2011年)的架构是Sandy Bridge。在这次IDF上,英特尔确认,32纳米Nehalem架构,代号为Westmere的处理器已经量产,将于2009年年底前投放市场。
在这次IDF上,欧德宁展示了一片22纳米可工作芯片的晶圆,其上包含了SRAM存储器和逻辑电路,每平方厘米集成29亿个晶体管,每个晶体管只有0.092平方微米,采用第三代高K金属栅极。
至于下一代架构,英特尔在这次IDF上并没有详细地介绍,只是提到Sandy Bridge将把处理器内核与第六代图形处理器集成在一起,并增加针对浮点运算、多媒体和计算密集型软件的AVX指令。
迄今为止,虽然遭遇着前所未有的金融危机,正在兴起的上网本和智能手机看起来并不急需高性能处理器,但英特尔依然信守着由摩尔定律指引的“滴答承诺”。从IDF上所传达的信息来看,英特尔对15纳米制程有相当的信心和准备,对下一代架构也在着手开发,并有望在明年的IDF上正式宣布。
在今年的IDF上,英特尔介绍了其全线产品的情况与未来的路线图。了酷睿i7移动处理器和用于互联网电视的凌动CE4100处理器,还介绍了下一代架构Sandy Bridge、先前已宣布并预计明年将要投放市场的32纳米Westmere-EX和Westmere-EP服务器处理器,以及Jasper Forest系列嵌入式处理器等新产品和新技术。
总体来看,不论面向何种市场,英特尔处理器都在向更高性能、更低能耗、更高集成度和更安全等方向发展。
掌上明星Moorestown
在演讲中,欧德宁展示了一款上网本产品,这个产品不但拥有超轻便的外观,还搭载了Windows 7操作系统。欧德宁表示,代号为“Moorestown”的英特尔下一代手持设备平台计划于 2010 年,以移动互联网设备(MID)和智能手机为目标市场。
此前,英特尔曾经生产XScale处理器,主要用于掌上电脑等便携设备,它是英特尔公司始于ARM v5TE处理器发展的产品,在架构扩展的基础上同时也保留了对于以往产品的向下兼容,因此获得了广泛的应用。
但是,英特尔在XScale还算热销的时候将它卖掉了,而开始基于凌动处理器核心,开发面向掌上系统的Moorestown。新平台的闲置功耗较上一代降低了50倍之多,板卡尺寸也缩小了两倍。欧德宁表示,Moorestown 平台旨在为手持设备提供高性能,从而实现全面而丰富、媲美PC的互联网体验。
新平台包括一个代号为“Lincroft”的45纳米英特尔凌动处理器核心、图形与视频引擎以及内存和显示控制器的片上系统(SoC),还包括代号为“Langwell”的输入/输出平台控制器枢纽(I/O-PCH),支持用于跟无线、摄像头传感器和闪存连接的多个 I/O 模块。而与 Moorestown 配套的还有最新版本的 Moblin 软件――Moblin v2.1。
在这次IDF上,包括Novell在内的多家厂商均展示了各自基于Moblin的系统,其中有上网本、MID和数码相框等类别的产品。一位Novell的技术人员表示,与Windows相比,Moblin的交互界面特别适合小尺寸屏幕,且各种基于Linux的应用基本上都可以不加改动地就在 Moblin上运行。
看来,明年上市的Moorestown凌动处理器和Moblin已经向业界发出了一个明确的信号: 英特尔就要进入智能手机市场了。
除了传统的电脑市场外,这次IDF给人最为深刻的印象是英特尔高调进入SoC领域。
“英特尔在SoC投资巨大。我们认为基于凌动内核的SoC将把我们带入全新的市场。” 欧德宁在主题演讲中说,“事实上,如果向前展望5年左右,可以看到英特尔公司每年交付的SoC,将超过传统的标准处理器。”
这表明,英特尔在传统主力处理器体系之外,已形成了以凌动处理器和Moblin操作系统为核心的面向上网本、智能手机和各种SoC市场的新的产品体系。
尽管在SoC领域中,许多厂商一直征战不休,但是目前还很难有哪家公司能够一家独大,即使是英特尔也一样。但是,面对超越PC市场数10倍的数字电视和机顶盒等富媒体应用领域,英特尔自然十分眼馋。于是,我们在今年IDF上看到了新一代的凌动CE4100处理器。
凌动CE4100是基于英特尔架构的45纳米消费电子 SoC。它能够在一个芯片上同时支持互联网和广播应用,并具备运行富媒体应用所需的处理能力以及音频和视频组件,包括对 3D 图像的支持。而其本身的性能及其新的架构,可以满足联网的消费电子设备的一些关键要求。
15纳米还是谜
从这次IDF所传达的信息不难看出,英特尔对15纳米已经有相当的把握。但对于未来15纳米将投资于何种技术,英特尔尚未十分明确。
英特尔技术与制造事业部总经理Bob Baker指出,在15纳米以后,有多种技术路线可供选择,人们广泛谈论的碳纳米管正是其中之一。问题的关键在于如何将这些技术用到电路上,并发挥出这些技术的优势。
Bob Baker表示,芯片技术从铝到铜、从低K到高K金属门的变化都说明,芯片技术的进步是一个选择材料的游戏。英特尔的目标是要研发出先进的材料,续写摩尔定律,不断缩小晶体管的尺寸,并获取更高的性能。“虽然有多种技术都处在研发当中,但都还没有完全成熟,核心的问题是在投放市场时,怎样能够有合理的成本效率。”Bob Baker说。
Bob Baker认为,在高K金属门以后,最有潜力的是3~5族半导体材料。长期以来,这些半导体材料一直用于通信芯片,现在的研究则主要聚焦于如何将其与硅技术相融合。
在今年的IDF上,英特尔特意邀请了在3~5族半导体方面有着20年研究经验的著名专家,来自麻省理工大学的Jesus del Alamo教授,为观众介绍了3~5族半导体研究的进展。
“3~5族半导体是令人惊异的材料!”Jesus del Alamo教授感叹道。这些半导体有超强的光特性,能制成二极管激光器。这些材料有超强的传导特性,使电子能在极低的电压下快速运动。正是这一特性,使其能够制成在极低电压下工作的超高频器件,这种器件的工作电压至少比硅器件降低一半。
Jesus del Alamo教授介绍,数年前,他们就已经开展了将这些材料用于逻辑运算的研究,但目前尚有不少技术问题需要解决。目前,已能够利用这些材料制成30纳米的晶体管,小于当前主流的45纳米制程。他强调,这项技术非常有前景,目前的研究目标是将3~5族半导体技术与现有的基于硅的CMOS技术相融合。“5年以后,我希望世界能看到一场由3~5族半导体引发的新的微电子学革命!” Jesus del Alamo教授最后说。
如果真如这位教授所言,5年后会出现一场新的微电子学革命的话,我们有理由认为,无论英特尔的“滴答策略”是否有变,在2015年,摩尔定律将有可能出现一个历史性的拐点。
采访手记
i7独挑大梁
移动计算技术是目前最令人关注的领域。在IDF上,观众蜂拥而至,关注着英特尔的最新移动处理芯片。遗憾的是,之前万众期待的Calpella移动新平台并没有出现,只有基于英特尔Nehalem微架构,代号为“Clarksfield”的酷睿i7四核移动处理器独挑大梁。
事实上,这个整合了内存控制器等传统北桥芯片功能的处理器,是最适合笔记本电脑平台使用的处理器,它能显著减少笔记本电脑主板上芯片的数量,大幅度提高笔记本电脑的性能。
借助英特尔睿频加速技术、英特尔超线程技术等智能特性,i7移动处理器为笔记本电脑带来了革命性的变化。在用户需要的时候提供高性能,而在不需要高性能的时候提供高能效。移动用户首次可以选择提供类似互联网服务器一样速度的笔记本电脑,更好地执行要求最为苛刻的任务,例如计算密集型游戏、数字视频剪辑以及社会媒体应用等。
在IDF上,英特尔架构部总经理浦大卫介绍了研发代号为 Arrandale 的英特尔下一代移动处理器,能将 Nehalem 微架构带入主流笔记本电脑。这些芯片将整合四核 CPU 和图形处理功能,采用 32 纳米制造工艺以及第二代高K金属栅极晶体管,为主流移动 PC 带来更高的性能和能效。未来,在代号为“Sandy Bridge”的全单片处理器中,将继续集成平台组件。 (文/孙定)
链 接
IDF已经跨界
在今年IDF的主题演讲中,英特尔CEO欧德宁谈到了12年来IDF的变化。他介绍说,英特尔开发者论坛(IDF)始于1997年,今年是第12届。第一届IDF只有300位与会者,其中60%来自PC OEM厂商,而这中间有半数是软件开发人员。今年的IDF共有4000多位与会者,其中只有20%是OEM厂商和ODM厂商,却有400多位来自消费电子产业,400多位来自通信产业,600位来自软件产业,另有500人来自能源、金融和医疗等其他行业。
微纳米制造技术及应用篇8
IBM日前宣布,他们已经成功将纳米缎石墨烯场效应晶体管的频率提高到GHz级别,这也是这种非硅电子材料迄今为止所能达到的最高频率。该成就是美国国防部高级研究计划署(DARPA)赞助的碳电子射频应用(CERA)项目取得的里程碑式进步,也是开发下一代通信设备工程的一部分。
石墨烯(Graphene)是石墨的一种特殊形式。虽二维结构,由蜂窝状的单层碳原子组成,完美情况下只包括六角元胞(等角六边形),而且有着独特的电子属性,有希望最终组成超高速晶体管,故而吸引了全球科研人员的广泛关注。2006年3月,佐治亚理工学院成功地制造了第一个石墨烯平面场效应晶体管,并观测到了量子干涉效应。
IBM的最新成果除了让石墨烯晶体管的频率突破1GHz,更重要的是还首次确立了尺度行为,比如性能对太小的依赖性。科研人员们发现,在门信号宽度达到150lm的时候,石墨烯晶体管的运行频率可以达到空前的26GHz。
IBM还预计,如果能将门信号宽度缩小到50nm,石墨烯晶体管的频率就有望突破1Tz,也就是1000GHz。
因特尔完成下一代32纳米工艺过程开发工作
2008年12月9日,英特尔公司宣布完成了下一代制造工艺的开发工作,进一步把芯片电路缩小至32纳米。英特尔计划将于2009年第四季度推出基于高能效、更密集的晶体管的产品。
英特尔公司在旧金山举行的国际电子器件会议(IEDM)上披露了32纳米制程技术的相关细节及其它主题信息。英特尔将在预定时间内完成32纳米制程技术的开发及处理器制造的前期准备工作,这意味着其产品与制程发展计划“Tick-tock”战略再次得以成功实施。
“Tick-tock”战略指英特尔每隔12个月将交替推出全新的处理器微架构和领先的制程技术,这一独特的发展模式推动了产业的持续发展。随着明年32纳米芯片的推出,这将是英特尔公司连续第四年实现“Tick-tock”战略目标。
英特尔即将的32纳米论文及报告介绍了新的逻辑技术,融合了第二代高K金属栅极技术、面向关键图案形成层的193纳米浸没式光刻技术以及增强型沟道应变技术。这些特性进一步增强了英特尔处理器的性能和能效。与现有的其它32纳米技术相比,英特尔的制程技术拥有业内最高的晶体管性能和晶体管密度。
ST-NXP Wireless开始量产3G/UMA芯片平台
2008年12月15日,ST-NXP Wireless宣布全球首款3G非授权移动接入(UMA)芯片组平台已经投入量产,为固网移动融合手机实现更强大的多媒体功能。7210 UMA蜂窝系统解决方案是首款在单个解决方案中结合UMA和3G技术的产品,能帮助手机制造商打造更多种的高速手机,增强竞争优势。
用户可通过双模3G UMA手机在UMTS蜂窝网络、GSM/EDGE网络、家用或企业级WiFi接人点之间无缝漫游和切换。7210 UMA蜂窝系统解决方案不仅在连接性能和语音质量上有重大改进,还能在UMA网络上提供快于每秒1Mbits的数据传输速度。这一新的进展意味着用户只需一个手机,就能在速度极高的3G或WiFi网络上快速浏览网页,享受视频流服务及访问社交网络。
ST-NXP WirClss蜂窝系统高级副总裁兼总经理DanRabinovitsj表示:“固网移动融合服务的下一阶段就是让消费者拥有速度更快、内容更丰富、以及更简单的宽带体验。在WiFi热区,用户在访问流行的社交网站时能明显感受速度的提升,在观看喜欢的网络视频时可享受流畅画面。这让用户在UMTS功能手机上就能感受一般只有在PC上才拥有的宽带体验。”
联想双屏幕笔记本电脑ThinkPad W700ds
日前,联想首款使用双屏幕设计的笔记本ThinkPadW700ds已正式,这款笔记本拥有17英寸+10.6英寸双显示屏设计,联想把这款笔记本定位为“移动工作站”产品。
ThinkPad W700ds使用了Intel四核Core2系列处理器,NVIDIA Quadro移动版显卡,另外还配备了8GB的DDR3内存及双传统硬盘或双固态硬盘设计,最高可拥有960GB存储容量。
此款笔记本附带所有附件之后的重量为5kg,预计W700ds的售价约为3600美元,2009年1月份正式上市。该笔记本的显示屏幕亮度为400 nits,比一般的笔记本电脑更亮,另外,色域可达到Adobe RGB标准的72%。W700ds的10.6英寸小屏幕分辨率为768×1280,大小相当于普通Netbook的显示屏,约为17英寸主屏幕的40%大小,小屏幕可伸缩和倾斜,倾斜幅度为30度。
微纳米制造技术及应用范文
本文2023-12-04 17:11:39发表“文库百科”栏目。
本文链接:https://www.wenkubao.com/article/4270.html